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      新一代合成金剛石設(shè)備制造技術(shù)研究計劃完成

      來源:中國幕墻網(wǎng)收集整理  作者:*  日期:2008-5-26
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        英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 -- 由 Element Six Ltd 研究人員指導、并與斯特拉斯克萊德大學 (University of Strathclyde) Institute of Photonics(光子學研究所,簡稱 IoP)合作進行的 Micromachined Diamond Device Initiative(微機械金剛石設(shè)備計劃,簡稱 MIDDI)圓滿結(jié)束。MIDDI 部分資金由英國貿(mào)工部 (UK Depar
        英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 -- 由 Element Six Ltd 研究人員指導、并與斯特拉斯克萊德大學 (University of Strathclyde) Institute of Photonics(光子學研究所,簡稱 IoP)合作進行的 Micromachined Diamond Device Initiative(微機械金剛石設(shè)備計劃,簡稱 MIDDI)圓滿結(jié)束。MIDDI 部分資金由英國貿(mào)工部 (UK Department of Trade and Industry) 提供,旨在研發(fā)全球領(lǐng)先的金剛石微電子設(shè)備制造技術(shù),讓歐洲公司比日本和美國公司更具競爭優(yōu)勢。

        
        MIDDI 主要專注于研發(fā)一個擁有先進微納米制造技術(shù)的“工具箱”,該技術(shù)以合成單晶金剛石為基礎(chǔ),可用于新一代高頻、高功率電子設(shè)備的開發(fā)。Element Six 在使用化學氣相沉積制造電子級合成金剛石領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位。MIDDI 進一步擴大了這種領(lǐng)先優(yōu)勢。

        
        斯特拉斯克萊德大學 IoP 一直扮演提供等離子體刻蝕技術(shù)專長的角色,該技術(shù)被用于界定設(shè)備制造所要求的精確表面特征。該研究所成立于1995年,已經(jīng)成為刻蝕材料方面的專業(yè)技術(shù)中心,刻蝕材料素來難以加工。材料領(lǐng)域的專長促成了 IoP 在半導體光電子學、固態(tài)激光工程和生物光子學方面的成功。

        
        IoP 副所長 Martin Dawson 教授評論說:“MIDDI 項目展示了英國大學是如何與工業(yè)領(lǐng)域合作并成功進行技術(shù)研發(fā)的。Element Six 設(shè)計了項目的任務,為先進的金剛石結(jié)構(gòu)提供了受控的摻雜特性;學校通過研發(fā)一種雙方共同擁有專利的創(chuàng)新型干刻蝕方法來完成任務。這真正打開了生產(chǎn)金剛石電子產(chǎn)品之,同時也拓寬了一系列新技術(shù)(包括金剛石光子學)的更廣泛應用,憑借 Element Six 的支持,斯特拉斯克萊德大學如今在該領(lǐng)域擁有非凡的影響力。”

        
        三個領(lǐng)域的成就
        
        該項目已在三個領(lǐng)域取得顯著成就,這將有助于 Element Six 為采用金剛石制造的主動電子設(shè)備的開發(fā)提供支持。首先,擁有原子級低粗糙度表面的基片和外延層生產(chǎn)中所采用的合成和加工技術(shù)得到改善。制造高精度金剛石納米層的能力取決于一系列復雜的加工和合成步驟。對于一個高頻主動電子設(shè)備來說,某些個別納米層要求厚度為幾納米。此外,這些納米層需要有原子級的平滑度和極度精確的雜質(zhì)分布。

        
        其次,Element Six 現(xiàn)在能夠存放納米級厚度的摻硼金剛石薄層。依據(jù) delta MESFET 這樣的金剛石提出來的主動交換設(shè)備概念使用這些夾在兩個未摻雜其他物質(zhì)的原金剛石層之間的薄層來支持晶體管作用。最終 MIDDI 得出了一種可再生的全面刻蝕技術(shù),適用于晶體管設(shè)備制造。


        Element Six 商業(yè)業(yè)務經(jīng)理 Christopher Ogilvie Thompson 指出:“這些成功的結(jié)果已經(jīng)為一家新的 Element Six 子公司的成立打下了基礎(chǔ)。Diamond Microwave Devices Ltd 致力于開發(fā)全球首個商業(yè)高頻、高功率金剛石晶體管。另外,MIDDI 開發(fā)出的技術(shù)也會有利于輻射探測器和微光學設(shè)備等先進應用所采用的其它金剛石技術(shù)。

        
        Element Six 簡介
        
        Element Six 是全球領(lǐng)先的優(yōu)質(zhì)超硬磨料和先進工程材料供應商,產(chǎn)品廣泛應用于制造業(yè)。該公司是各種工業(yè)應用所采用的合成金剛石和新工程材料開發(fā)領(lǐng)域的先鋒,應用領(lǐng)域包括光學、機械、熱能、電子、汽車、電信和媒體等行業(yè)。Element Six 的營業(yè)額超過5億美元,擁有員工近4000名,在中國、德國、愛爾蘭、瑞典、南非、烏克蘭和英國設(shè)有生產(chǎn)和加工工廠,擁有全球分銷網(wǎng)絡(luò)的支持。

        
        Institute of Photonics 簡介
        
        Institute of Photonics 成立于1995年,是一個以商業(yè)為中心的研究機構(gòu),隸屬于斯特拉斯克萊德大學。其主要目標是彌合學術(shù)研究與光子學行業(yè)應用、開發(fā)之間的鴻溝。該機構(gòu)的研究興趣包括半導體材料和設(shè)備、實用全固態(tài)激光、微型 LED 陣列以及范圍廣泛的應用,尤其在光子學領(lǐng)域。Institute of Photonics 總部位于斯特拉斯克萊德大學的格拉斯哥市中心校區(qū)。IoP 承接來自工業(yè)領(lǐng)域的合同,進行合作研究,還提供咨詢服務。該機構(gòu)擁有人數(shù)眾多的哲學博士和工程學博士研究生,面向企業(yè)授權(quán)技術(shù)。


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